工业制备--深冷分离法
深冷分离法工艺已经历了100多年的发展，先后经历了高压、高低压、中压和全低压流程等多种不同的工艺流程。随着现代空分工艺技术和设备的发展，高压、高低压、中压空分流程已基本被淘汰，能耗更低、生产更安全的全低压流程已成为大中型低温空分装置的首选。
全低压空分工艺根据氧氮产品压缩环节不同，又分为外压缩流程和内压缩流程。全低压外压缩流程生产出低压氧气或氮气，然后经外置的压缩机将产品气体压缩至所需压力供给用户。全低压内压缩流程将精馏产生的液态氧或液态氮在冷箱内通过液体泵加压至用户所需压力后汽化，并在主换热器内复热后供给用户。主要工艺过程为原料空气过滤、压缩、冷却、纯化、增压、膨胀、精馏、分离、复热、外供。
变压吸附法（PSA法）
该方法是以压缩空气为原料，一般以分子筛为吸附剂，在一定的压力下，利用空气中氧气和氮气分子在不同分子筛表面吸附量的差异，在一定时间内氧在吸附相富集，氮在气体相富集，实现氧、氮分离；而卸压后分子筛吸附剂解析再生，循环使用。[3]吸附剂除了分子筛之外，还可应用活性氧化铝、硅胶等。[4]
目前，常用变压吸附制氮装置是以压缩空气为原料，碳分子筛为吸附剂，利用氧和氮在碳分子筛上的吸附容量、吸附速率、吸附力等方面的差异及分子筛对氧和氮随压力不同具有不同的吸附容量的特性来实现氧、氮分离。首先，空气中的氧被碳分子筛优先吸附，从而在气相中富集氮气。为连续获得氮气，需两个吸附塔交替工作。
健康危害
空气中氮气含量过高，使吸入气氧分压下降，引起缺氧窒息。吸入氮气浓度不太高时，患者最初感胸闷、气短、疲软无力；继而有烦躁不安、极度兴奋、乱跑、叫喊、神情恍惚、步态不
空气中氮气含量过高，使吸入气氧分压下降，引起缺氧窒息。吸入氮气浓度不太高时，患者最初感胸闷、气短、疲软无力；继而有烦躁不安、极度兴奋、乱跑、叫喊、神情恍惚、步态不稳，称之为“氮酩酊”，可进入昏睡或昏迷状态。吸入高浓度，患者可迅速昏迷、因呼吸和心跳停止而死亡。
注意事项:
1、用氮气进行气密试验时，必须对设备、管道按压力等级划分，相互之间及系统以外的连接阀处加盲板隔离，防止窜气损伤他人；安全阀处于完好状态，拆除所有超量程仪表或关闭根部阀，防止因超压造成仪表、设备、管线的损坏；充压过程中应有专人监护，以防超温超压，选取的试验庄力为操作庄力的1.1倍。作业中应撤离相关系统内现场其他作业人员，巡检人员的站位应注意法兰(盖)的侧面和对面都不能站人。另外对泄漏点的处理应在泄压后进行，严禁带压处理。
2、系统或设备氮气吹扫、置换，置换前应制定作业方案，确定作业流程，明确排放地点，做到明确分工、责任落实。排放口应设置在安全地方或配有专人监视，作业时排放口附近撤离从事其他作业的相关人员。
3、进行吹扫、置换的设备、管道系统必须采取可靠的隔离。所有与吹扫无关的部位、系统要关闭或加盲板隔离，相关的操作严格按盲板示意图执行，同时附上盲板隔离检查汇总记录。置换时要逐个打开所有的排污阀或放空阀泄压和排放余液，调节阀的前后阀旁通也应打开。
4、置换应根据氮气和被置换介质密度的不同，选择氮气进入点和被置换介质的排放点，确定取样分析部位，以免遗漏，防止出现死角。在指定的采样点测量氧含量、烃类气体含量，采样点应选在氮气置换接气口的最下游(终点和易形成死角的部位附近)。氮气置换至氧含量小于0.5%后，泄压至微正压状态保压。
5、凡需进入处理(检查或检修)的设备，经氮气吹扫、置换合格后，还必须用空气进行吹扫、置换，并经气体检测把关。其中气体检测取样分析要有代表性、全面性，设备容积较大时要对上、中、下各部位取样分析，应保证设备内部任何部位的含氧量和可燃气体浓度同时合格(当可燃气体爆炸极限大于4%时，指标为小于0.5爆炸极限小于4%时，指标为小于0.1；氧含量19.5一23.5%为合格)。注意对设备内部容易积聚或死角的地方进行吹扫、置换。用空气吹扫、置换前，必须关闭氮气阀门，拆除连接管线或加盲板隔离。
6、勿需进人处理(检查或检修)的设备，经氮气吹扫、置换合格后，关闭氮气阀门，拆除连接管线，系统泻压后，才可进行拆卸或检修。在有氮气危险，可能使周围环境缺氧的地方，应采取合适的预防措施，如配备呼吸设备或氧气检测仪等.
7、拆卸、检修有氮封的容器盖板(盲板)、阀门时，必须先关闭进氮阀门，必要时加板隔断。作业人员要进入氮封的设备，或探入氮封设备前，必须在办理作业许可证的同时，进行第二阶段风险评估并经额外授权方可作业.进入人员必须佩带隔离式空气防毒面具，二人协同进行，设备人孔口外要有专人监护未经批准，严禁进入和探入。
8、在打开经过氮气吹扫置换工艺处理的入孔或其它开口处，为防止未经许可随意进入可能存在缺氧环境的受限空间，作业过程中人员全部离开后，监护人员及时恢复设置。
9、在使用液氮装轴承时提供良好的自然通风条件。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。戴防寒手套，防止气体泄漏到工作场所空气中。
