一、氦质谱检漏仪原理简介
氦质谱检漏仪的工作原理是利用氦气分子在真空中扩散的特性，通过将氦气注入被检测物体内部或周围环境中，然后使用氦质谱仪检测周围环境中是否存在氦气，如果存在，则说明被检测物体存在漏或裂缝。
因为氦气分子非常小，能够穿过非常小的漏或裂缝，因此氦质谱检漏仪能够检测到非常小的漏或裂缝。同时，氦气是一种非常稳定的气体，不会与其他物质发生反应，不会对被检测物体产生影响。
氦质谱检漏仪是一种高灵敏度的检测漏气的仪器，其工作原理基于质谱技术和氦气的特性。
氦气易于弥散，且分子尺寸小，能够渗透到被测物体内或漏出到外界。因此，在使用氦质谱检漏仪时，将被检测物体充入氦气，并利用泄漏口外的吸气探头来探测泄漏气体中的氦气，通过光电倍增管检测氦气的信号强度，判断是否存在泄漏。
简单的说其工作原理：使用真空泵对测试腔体和电池进行抽真空，然后往电池内部注入氦气，当测试腔
体（检漏口）压力以及电池内氦气压力达到目标值时，氦检仪开始检测，在内外压差的作用下，氦气通过电池漏孔进入测试腔体，测试腔体内的氦检仪连接真空泵，将泄露的氦气抽至氦检仪内进行测试
工作原理
真空泵
氦检过程中的常见主要不良：1）焊接炸点漏氦
2）盖板防爆阀漏氮
二、氦质谱检漏仪的主要构成
1、真空部件：（如管道、阀门、真空计等）导入并且控制来自泄漏源的气体
2、质谱室和高真空泵：电离来自漏孔的气体分离电离后的气体，根据质量数探测电离的氦气
3、计算机和显示：计算/显示/数据输出
三、常用行业名词
气体泄漏：在压强差存在的情况下所产生的气体定向移动
漏率：国际通用测量单位Pa·m3/s：表示单位时间内单位压差情况下通过某漏孔所泄露的气体量。
最小可检漏率：在理想工作条件下，以一个大气压的纯氦作为示漏气体，检
漏仪能检出的最小漏孔。
响应时间：仪器检漏口喷氦致使漏率值上升到漏孔饱和泄露值的0.63倍时所需时间。
检漏口最大压强：检漏仪内检漏阀开启所允许的最大压强值。
