比大气压低的压力状态称为“真空”或“负压”。
真空所产生的力真空所产生的力为吸附力，是大气压和真空压的压差与大气压所施加给真空压侧的面积(受压面积.吸附面积)的乘积。
因此，真空吸附力最大也不会超过大气压的力。大气压的变化也会引起吸附力的变化。
真空系统是由真空发生器或真空泵、真空吸盘、真空压力开关、真空过滤器、真空安全阀等构成的元件组合。
真空系统具有以下特点：
真空吸附机构的结构简单。
吸着位置不需要精确定位。
适用于表面平滑或表面为曲面的工件。
吸附工件时，会吸入周围的异物，故需要设置过滤器。
要获得大的吸着力，需要有更大的吸附面积。
真空吸盘多少是橡胶材料，容易老化磨损。
1）真空发生器系统
真空供给阀：向真空发生器供给压缩空气，控制真空发生的通断。
真空破坏阀：为了快速让真空吸着后的工件脱离，控制真空破坏空气的通断。
节流阀：控制让工件脱离时的破坏流量，以控制脱离时间，防止工件被吹飞。
真空过滤器：防止吸入吸盘周边环境的灰尘，而引起截止阀、真空发生器和传感器等出现故障。
真空压力开关：在真空吸着时，当到达所定的真空压力时得到信号，作为气缸等的动作起点和是否吸着确认。
由真空发生器构成真空系统的两种典型气路。
2）真空泵系统
真空调压阀：防止真空源的脉动，控制设定的真空压。
真空切换阀：控制从真空泵供给真空的开关。
理想情况是一个真空发生器带一个吸盘，或是一个真空管路带一个吸盘。
一个真空发生器或真空泵带多个吸盘的场合，1个工件脱落时，则真空压力下降，其它工件也会脱落。可采取如下对策:
使用节流阀，使吸着和未吸着的真空压力变化减小。
每个吸盘都配设真空切换阀，吸着失效时可通过切换以阻止对其它吸盘产生影响。
真空泵系统还可利用真空罐及真空减压阀来稳定真空压力
使用真空安全阀来限制真空度下降，从而使其他吸盘的真空度不受影响。
真空系统其他注意点作为停电对策，供给阀应选用常开式或带自我保持功能的阀。
工件的吸着和搬运，可用真空压力开关确认，吸吊重物及危险品时，应并用真空表进行目视确认。
在恶劣环境下，压力开关前应加装真空过滤器，但是过滤器的孔眼阻塞，会影响吸着部分和真空发生器部形成压力差，造成是否真正吸着判断错误，这个必须注意。
与压力较高的正压相比较，真空压更容易受到配管阻力等影响。尤其是真空到达时间受配管的内径和长度影响较大，因此配管时尽量选择容积较小的。
