用于输送高纯气体的阀门和管线
高纯度气体输送管道系统的质量会直接影响高纯度气体的纯度、清洁度和干燥度。因此，对高纯度气体输送系统的设计、材料选择、加工、清洗处理、安装和使用等各个环节要进行严格控制和把关。
1.表面处理是指对材料表面进行加工，以改变其外观或性能。
未经处理的材料表面上粘附有氧化皮、油渍、灰尘、金属碎片和其他杂质。使用未经处理或未完全处理的材料时，在高纯度气体管道系统中，气流摩擦、温度和压力的变化会影响材料表面的气体出口，这不可避免地会导致气体质量下降，管道被污染，甚至会造成部件的损坏和报废。众所周知，金属材料和气体分子的表面会发生吸附和解吸现象。当设置气体的压力、温度和其他条件时，吸附和解吸只取决于材料的实际表面尺寸和处理条件（如抛光、清洁等）。因此，高纯度气体输送装置的表面处理有两个主要目的：一是去除材料表面上的有害杂质，二是实现高质量的表面处理。清洁工作一般按照机器车间清洁、酸洗、除垢和脱脂的顺序进行。在国外，常常将三氯乙烯添加到封闭的塑料容器中，最终通过超声波清洗来清洗成品管道阀门，以确保高纯度气体管道阀门具备特殊的清洁度要求。
2.材料选择
经验表明，不锈钢是高纯度输气管道的最佳材料。相比其他材料，不锈钢对杂质和水的活性较弱，同时具有优良的耐腐蚀性、机械加工性和综合经济性。在真空泵系统中，不锈钢的排气率远低于铜的十分之一和橡胶树脂的千分之一。由于所有气体都能渗透有机聚合物，因此绝对不能使用非金属管道、密封件、减压阀以及带有非金属膜的隔膜阀来构建高纯度气体管道。否则，系统内外的气体会相互渗透，导致气体质量的降低。在实际应用中，材料选择必须考虑所用介质的类型以及操作条件（如温度、压力和环境）。
另外，盐酸的任何浓度都不适用于不锈钢材料。必须使用无缝管道，并确保管道的内外表面质量、外径公差和圆度符合设计要求。表面的划痕和其他不太明显的缺陷会导致腐蚀不均匀的应力，进而降低管道在负载和活性介质变化下的耐腐蚀疲劳性能。在弯曲和运输过程中，必须避免让管道接触地板或硬物，以免刮伤管道表面。除了考虑系统的压力和流量外，还需注意通过套圈连接的管道的相应壁厚，以确保卡环不会压碎管道，并能够使管道适当变形并起到密封作用。
3.应该注意确保管道不受到任何张力的影响
无论连接方法如何，都很难同时保证管道两端的密封面完全贴合。当温度变化时，密封面还会移动和改变位置。
4.必须使用冷加工方法来制造弯头。
必须使用台式安装机器，不得弯曲多次。禁止使用被压扁、弯曲或折叠的管道弯头。
5.进行管道上的切割或锯切操作
为了确保管道切口与管壁保持垂直，最好使用专门的工具去除管道内外的毛刺。要确保没有灰尘进入管道中，可以使用清洁的空气或氨气将其吹走。根据车削的实践经验，大部分金属碎片都会留在管道中，所以不能锯掉直径小于3毫米的管道。可以使用三角锉或锋利锉对外径均匀的管道进行缠绕，绕凹槽一圈后再分开，以避免阻塞内孔。
6.在安装阀门时，请留意阀体上的流向。
安装标志时需要确保在工作系统有压力时，压力端始终连通到阀头下方的空腔，而不是阀头上方的包装或薄膜。这样的安装方式能够最大程度减少外部阀门的发生可能性，当阀门关闭时。标志必须安装在醒目且便于使用的位置，以方便操作。操作员不应该用非常冷或热的物体来操作阀门。阀门不能与手轮颠倒安装，以防止可能的污染物在阀室内积聚并造成阀门损坏。
