中真空机组的工作压力范围约在100～0.1Pa之间,其常用的主泵有油增压泵、机械增压泵(罗茨泵)等,机组适用于需要大抽速和获得低、高真空的各种真空系统中。可广泛用于镀膜机、真空冶炼、真空热处理、化工、医药、电工、焊接等行业。
01罗茨泵—油封机械泵机组
图1是以罗茨泵为主泵,油封机械泵为前级泵的中真空获得设备,整套机组可安置在一个机架上,结构紧凑,使用方便。
可选择ZJ型普通罗茨真空泵作为机组的主泵,也可选用带旁通压差阀的罗茨泵,前者须在系统被前级泵抽到罗茨泵允许的起动压力时才能起动主泵工作。
后者由于罗茨泵带旁通压差阀,所以罗茨泵可在较高的入口压力时运转而不发生过载和过热现象,因此主泵可以在前级泵工作后，根据系统的实际情况来决定它的起动压力。
对于小型机组,还可以两泵同时起动,以加大抽速和缩短抽气时间。
图1罗茨泵加油封机械泵机组
02罗茨泵—水环泵机组
图2为ZJ型罗茨泵加上水环泵机组,它适合抽除含有大量水蒸气的气体,如真空浓缩、真空干燥,特别适宜于弱酸气体及含有少量细微粉尘气体的抽除。
图2罗茨泵加水环泵机组
03双罗茨泵为主泵的中真空机组
为了提高真空机组的抽气性能，达到较低的极限压力和改善在低入口压力时的抽速特性及对大型真空机组配用较小规格的前级泵，可以组成由二个ZJ型罗茨泵串联作为主泵的三级抽气机组,如图3、4所示。
图3两级罗茨泵加油封机械泵组
图4双级罗茨泵加水环泵机组
图5为两级ZJ型罗茨泵和一级水环泵(极限压力P0=6700Pa)及气镇式油封机械泵联合组成的真空机组,其极限压力可达10-2Pa。
当需要大量抽除水蒸汽时,关闭阀门8,用水环泵做粗抽泵和前级泵，当水蒸汽分压达到300~1300Pa后,关闭阀5，打开阀8,用气镇式机械泵做前级泵。
图5双级罗茨泵加水环泵及油封机械泵复合机组
