真空计是真空设备测量压力的关键器件，涵盖压力范围从超高真空到正压（一般小于2个大气压），同种类的真空计，其测量精度受气体成分、温度、海拔、安装角度等多种因素的综合影响，需要根据实际情况选择和校准。
真空压力划分
压力换算1mbar=100Pa，1torr≈133.3Pa，1psi≈6.9kPa。
真空计一般测量的是绝对压强，常用单位mbar。压力开关一般测量表压（小于大气压时为负值），即相对于大气压的压差。
真空压力划分
低真空用电容薄膜真空计原理低真空下的气流为粘滞流，气体运动具有方向性，常用电容薄膜真空计测压，适应于大部分气体。真空腔上侧为陶瓷应变膜片（常用Al2O3，约250μm厚），膜片另一侧镀有金属，和参考腔固定侧的金属面形成电容。当真空侧压力下降时，膜片下凸，间隙变大，电容值变小，转成电学信号，进而转换成压力值。
电容薄膜规内部结构
压力变化导致膜片变形
膜片变形除了受压力影响外，由于膜片本身的重力，会有一个初始变形，因此竖直、水平和倒立安装测得的压力值是有差别的。一般以竖直安装为准，如果不允许竖直安装，但是对测量值准确度又要求严格，需要安装好后校准零点。
不同满量程薄膜规安装方位对测量值的影响
温度影响由于温度影响压力，因此测量值准确度受温度影响，一般为满量程的0.2%左右。为避免偏差过大，薄膜真空规的使用温度不能太高，一般为60℃以下，部分在40℃以下。如果温度过高，为保护真空计寿命，需要真空计远离热源，或者给热气降温。
真空计加延长管远离热炉体
真空计校准
电容薄膜规
出厂前，真空规的零点已经调节好，可以在很长时间内保持稳定。但是这取决于工作环境、要求的精度等，当精度要求很高时，需要定期调零。校准方法参考如下（不同的真空计方法有区别）：
1、将真空计装于一段真空管路上，用真空泵抽压力至真空计的最小测量值的1/10以下（如真空计可测的最小压力是1mbar，需要将压力抽至0.1mbar以下）；
2、打开外壳，转动调零旋钮（一般用胶封住），将压力调到0-0.1mabr（尽量靠近0）之间，装上外壳。
调零旋钮
电容薄膜规不耐粉尘污染，粉尘黏附到膜片上，无法清洗，如果影响测量准确度，也需要校准。
